5-achsig gefräste Keramikisolatoren für Halbleiterausrüstung und Reinräume

In der anspruchsvollen Welt der Halbleiterfertigung und in Reinraumumgebungen muss jede Komponente einwandfrei funktionieren. BeiPFT, wir sind spezialisiert auf die Herstellung5-achsig gefräste Keramikisolatorendie Präzision und Zuverlässigkeit neu definieren. Mit über 20+Dank unserer langjährigen Erfahrung sind unsere Lösungen darauf ausgelegt, die hohen Anforderungen von Halbleitergeräten zu erfüllen und thermische Stabilität, elektrische Isolierung und kontaminationsfreien Betrieb in hochsensiblen Umgebungen zu gewährleisten.

Warum sollten Sie sich für unsere 5-Achsen-gefrästen Keramikisolatoren entscheiden?

1.Erweiterte Fertigungskapazitäten

Unsere Anlage ist ausgestattet mithochmoderne 5-Achs-CNC-Fräsmaschinen, wodurch eine Genauigkeit im Mikrometerbereich bei der Formgebung von Hochleistungskeramiken wie Aluminiumoxid (Al₂O₃), Siliziumkarbid (SiC) und Aluminiumnitrid (AlN) ermöglicht wird. Im Gegensatz zu herkömmlichen Methoden ermöglicht die 5-Achsen-Bearbeitung komplexe Geometrien – entscheidend für Komponenten wie Wafer-Hebestifte, Abscheidungskammerteile und plasmabeständige Isolatoren.

Hauptmerkmale:

•Präzision:±0,005 mm Toleranz für nahtlose Integration in ASML-Lithografiewerkzeuge oder Ätzsysteme von Lam Research.
•Materialvielfalt:Optimiert für 99,8 % Aluminiumoxid, hochreines SiC und andere fortschrittliche Keramiken.
•Oberflächenbeschaffenheit:Ra <0,2 μm, um die Partikelbildung in Reinräumen der ISO-Klasse 1 zu minimieren.

2.Proprietäre Verfahrenstechnik

Unsere Ingenieure haben entwickeltgeschlossene Prozesssteuerungendie sich der Sprödigkeit der Keramik während der Bearbeitung anpassen. Durch die Kombination von Trockenfrästechniken mit Echtzeit-Vibrationsdämpfung erzielen wir rissfreie Oberflächen und eine längere Lebensdauer der Komponenten – selbst bei extremen Temperaturwechseln (bis zu 1.600 °C).

Innovationen im Rampenlicht:

•Protokolle zur Stressbewältigung:Minimieren Sie Mikrobrüche in AlN-Isolatoren für CVD-Anwendungen.
•Nachbehandlungen:HIP (Heißisostatisches Pressen) verbessert die Dichte und Korrosionsbeständigkeit.

3.Strenge Qualitätssicherung

Jeder Isolator unterliegt12-stufige Inspektion, einschließlich:

•KMG (Koordinatenmessgerät)Validierung kritischer Dimensionen.
•Helium-Leckprüfungauf Vakuumkompatibilität.
•EDS (Energiedispersive Röntgenspektroskopie)um die Reinheit des Materials zu überprüfen.

UnserISO 9001/14001-zertifiziertes Systemgewährleistet die Rückverfolgbarkeit von der Rohstoffbeschaffung (von Tier-1-Lieferanten wie CoorsTek) bis zur Endverpackung.

Anwendungen: Wo Präzision auf Leistung trifft

Unseren Isolatoren wird vertraut in:

•Ätz- und Abscheidungswerkzeuge:SiC-beschichtete Komponenten für Plasmabeständigkeit in Applied Materials™-Modulen.
•Ionenimplanter:Aluminiumoxid-Hebestifte mit antistatischer Beschichtung verhindern ein Verrutschen des Wafers.
•Messsysteme:Isolatoren mit geringer Wärmeausdehnung für EUV-Lithographiestufen.

Fallstudie:Ein führender OEM für Halbleiter reduzierte die Werkzeugausfallzeit um 40 %, nachdem er auf unsere maßgeschneiderten SiC-Duschköpfe umgestiegen war, die bei der Verarbeitung von 300-mm-Wafer die Teile der Konkurrenz übertrafen.

Über die Fertigung hinaus: Ein partnerschaftlicher Ansatz

•Schnelles Prototyping:Senden Sie Ihre CAD-Dateien und erhalten Sie innerhalb von 7 Tagen funktionsfähige Prototypen.
•Reinraumverpackung vor Ort:Optionale Reinraumbaugruppe der Klasse 10 zur direkten Werkzeugintegration.
•Lebenslanger technischer Support:Unsere Ingenieure bieten Verschleißanalysen und Nachbearbeitungsdienste an, um die Lebensdauer der Komponenten zu verlängern.